Трубчатые печи CVD / PECVD с прецизионными массовыми расходомерами (MFC) и клапанами

Система смешанных газов HQ-Z контролируется одноканальным или многоканальным массовым расходомером для непрерывного подачи смешанных газов.

И позволяет реализовать точное измерение и контроль массового расхода газа;

Каждая газовая труба оснащена высокооборотным обратным клапаном, чтобы обеспечить безопасность и надежность работы системы;

Имеет такие характеристики, как равномерное смешивание газов, высокоточное управление, цифровой дисплей, интуитивно понятные и чувствительные особенности.

?

Высокоточный система контроля массового расхода состоит из многоканального массового расходомера, индикатора расхода и т. д.,

Реализовано точное измерение и контроль расхода газа; обладает высокой точностью, быстрым откликом, чрезвычайно низким нулевым дрейфом и температурным дрейфом, хорошей совместимостью и надежной герметичностью.

С помощью программного обеспечения поддерживается интерактивный интерфейс и удобство в эксплуатации.

Каждый газопровод оснащен высоконапорным обратным клапаном, чтобы обеспечить безопасность и надежность системы;

Для точного контроля газового потока при спекании в высокотемпературной атмосфере, восстановлении атмосферы и экспериментах CVD/CVI.

?

?

?

?

?